山东康德莱净化(图)_gmp厂房净化_烟台厂房净化
山东康德莱净化工程有限公司
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1、自净时间：是指无尘室按设计换气次数开始送风到无尘室，室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1，gmp厂房净化，000级希望不超过20min（分钟）
（可取15min计算） 10，000级希望不超过30min（分钟） （可取25min计算） 100，000级希望不超过40min（分钟）
（可取30min计算）
2、换气次数（按上述自净时间要求设计）1，厂房净化装修，000级 43.5—55.3次/小时 （规范：50次/小时） 10，000级 23.8—28.6次/小时
（规范：25次/小时） 100，000级 14.4—19.2次/小时 （规范：15次/小时）
微环境的送风是由无尘车间送风系统提供，其缺点是不灵活，移动或增加工艺设备不方便。目前8”、12”IC生产线所用的微环境基本上是图5的形式（光刻机除外），微环境全部由工艺设备自带，厂房净化工程，与工艺设备紧密结合在一起，并且与装载台、前开口传递盒(front opening unified pods．FOUP)、吊挂传输系统(ovcerhead hoist transport，OHT)有机结合。微环境系统的风机直接吸室内的空气，经ULP过滤器处理后垂直下吹，以保证硅片暴露区严格的洁净度要求。
这样才可以保证投产时其生产技术小会处于落后的窘地，即使投产以后，烟台厂房净化，也会因产品、市场及生产技术等因素的变化而需要对生产线进行改造以调整产品和产能。其次8”、12”IC生产对环境尤其是洁净度耍求极为严格，通常硅片暴露区（加工过程）要求1.5级（209E，O.lμm，1级）．采用开放式无尘车间加微环境方式再配套自动物料处理系统automated material handling system.AMHS)，一方面口可以使操作人员和其他污染源与硅片完全隔离，另一方面生产自动化程度的提高对提高硅片成品率极为有利。
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